![]() |
ÀüÀÚºÎǰ Brazing¿ë Jig °í¼øµµ Graphite, SiC CVRµîÀ¸·Î Á¦ÀÛµÇ¸ç ¼öÁ¤Áøµ¿ÀÚ, Saw Filter, MagnetronµîÀÇ Á¦ÀÛ°øÁ¤»ó¿¡ Àû¿ëµÈ´Ù. |
![]() |
È®»ê·Î ¹× LPCVD°øÁ¤»ó¿¡¼
°í¿Â·Î ³»ºÎÀÇ °¡½º È帧 ¹× ¿Âµµ¸¦ ±ÕÀÏ ÇÏ°Ô À¯Áö ¶Ç´Â »ý»ê Wafer¿Í ÇÔ²² ÅõÀÔµÇ¾î »ý»ê WaferÀÇ Á¦Ç°Æ¯¼ºÀÇ ±ÕÀϼºÀ» µµ¸ðÇϱâ À§ÇÑ Wafer. SiC Dummy Wafer´Â ¼ö¸íÀÌ ±æ°í ÀÔÀÚ ¿À¿°À» ¹æÁöÇÑ´Ù. |
±âŸ | * Edge, Susceptor, Boat,
Crucible, Heater, Cathode µî![]() |
Á¦Ç°±º | Graphite ºÎǰ¿¡
SiC¸¦ ÈÇÐÁõÂø¹ÝÀÀ ½ÃÄѼ Ç¥¸éÀÇ °æµµ ¹× ³»ÈÇмºÀ» Çâ»ó½ÃŲ Á¦Ç°. ¸¶±×³×Æ®·Ð Áö±×, È÷ÅÍ, Susceptorµî¿¡ Àû¿ë ![]() |
![]() |
źȹ°·Î½á
500MHz ÀÌ»óÀÇ Á֯ļö¿¡ ´ëÇØ 90dBÀÇ Â÷ÆóÈ¿°ú ´Ù¾çÇÑ ÇüÅ·ΠÁ¦ÀÛÀÌ °¡´É |