Ȩ
·Î±×ÀÎ
À̸ÞÀÏ
»çÀÌÆ®¸Ê
°ü¸®ÀÚ
page
ÀüÀÚ/¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß
  1. ÀüÀÚºÎǰ, ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê °øÁ¤»ó¿¡¼­ ºÒ¼ø¹°ÀÇ ¹ß»ýÀ» ¹æÁöÇÏ°í ³»¸¶¸ð, ³»ºÎ½Ä¼º, °í¿Â°­µµ¸¦ ¿ä±¸ÇÏ´Â °øÁ¤¿ë Ä¡±¸·ù·Î °í¼øµµ Graphite, SiC, CVR, CVD Á¦Ç°±ºÀÌ »ç¿ëµÈ´Ù.
»õ ÆäÀÌÁö 1
Brazing Jig  ÀüÀÚºÎǰ Brazing¿ë Jig
 °í¼øµµ Graphite, SiC CVRµîÀ¸·Î Á¦ÀÛµÇ¸ç ¼öÁ¤Áøµ¿ÀÚ, Saw Filter,   
 MagnetronµîÀÇ Á¦ÀÛ°øÁ¤»ó¿¡ Àû¿ëµÈ´Ù.
Dummy Wafer  È®»ê·Î ¹× LPCVD°øÁ¤»ó¿¡¼­ °í¿Â·Î ³»ºÎÀÇ °¡½º È帧 ¹× ¿Âµµ¸¦ ±ÕÀÏ
 ÇÏ°Ô À¯Áö ¶Ç´Â »ý»ê Wafer¿Í ÇÔ²² ÅõÀÔµÇ¾î »ý»ê WaferÀÇ Á¦Ç°Æ¯¼ºÀÇ
 ±ÕÀϼºÀ» µµ¸ðÇϱâ À§ÇÑ Wafer.
 SiC Dummy Wafer´Â ¼ö¸íÀÌ ±æ°í ÀÔÀÚ ¿À¿°À» ¹æÁöÇÑ´Ù.
±âŸ * Edge, Susceptor, Boat, Crucible, Heater, Cathode µî
Á¦Ç°±º  Graphite ºÎǰ¿¡ SiC¸¦ È­ÇÐÁõÂø¹ÝÀÀ ½ÃÄѼ­ Ç¥¸éÀÇ °æµµ ¹× ³»È­ÇмºÀ»
 Çâ»ó½ÃŲ Á¦Ç°.
 ¸¶±×³×Æ®·Ð Áö±×, È÷ÅÍ, Susceptorµî¿¡ Àû¿ë
ÀüÀÚÆÄÂ÷ÆóÀç·á  ÅºÈ­¹°·Î½á 500MHz ÀÌ»óÀÇ Á֯ļö¿¡ ´ëÇØ 90dBÀÇ Â÷ÆóÈ¿°ú ´Ù¾çÇÑ
 ÇüÅ·ΠÁ¦ÀÛÀÌ °¡´É
ÀÌ¿ë¾à°ü
°³ÀÎÁ¤º¸Ã³¸®¹æÄ§
À̸ÞÀÏÁÖ¼Ò¹«´Ü¼öÁý°ÅºÎ