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전자/반도체 분야
- 전자부품, 반도체 생산 공정상에서 불순물의 발생을 방지하고 내마모, 내부식성, 고온강도를 요구하는 공정용 치구류로 고순도 Graphite, SiC, CVR, CVD 제품군이 사용된다.
Brazing Jig |
전자부품 Brazing용 Jig 고순도 Graphite, SiC CVR등으로 제작되며 수정진동자, Saw Filter, Magnetron등의 제작공정상에 적용된다. |
Dummy Wafer |
확산로 및 LPCVD공정상에서
고온로 내부의 가스 흐름 및 온도를 균일 하게 유지 또는 생산 Wafer와 함께 투입되어 생산 Wafer의 제품특성의 균일성을 도모하기 위한 Wafer. SiC Dummy Wafer는 수명이 길고 입자 오염을 방지한다. |
| 기타 | * Edge, Susceptor, Boat,
Crucible, Heater, Cathode 등 |
| 제품군 | Graphite 부품에
SiC를 화학증착반응 시켜서 표면의 경도 및 내화학성을 향상시킨 제품. 마그네트론 지그, 히터, Susceptor등에 적용  |
전자파차폐재료 |
탄화물로써
500MHz 이상의 주파수에 대해 90dB의 차폐효과 다양한 형태로 제작이 가능 |
